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半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 日本三丰Mitutoyo MP-FS70
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半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 日本三丰Mitutoyo MP-FS70

半导体检测显微镜,半导体观测显微镜日本三丰MitutoyoMP-FS70

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  • 地   址:
    上海 上海 青浦区 佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
加工定制:是品牌:Microphotons型号:MP-FS70
种类:隔离器

总览

日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长,倍数高,能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头,显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X,工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm,***调整分辨率可达0.1mm,并可同时进行视频输出和双目观测。

FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。



半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 日本三丰Mitutoyo FS70 ,半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 日本三丰Mitutoyo FS70

通用参数

  特点

● 采用Mitutoyo远场校正镜头

● 三端输出设计可轻松接收视频

● 转盘可接最多四个物镜


应用:

切割、修整、校正、 给半导体电路做标记

薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。

还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。

? 可用于红外光学系统*。

应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。

* 需要红外光源和红外摄像机。

? 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。

? 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。

? 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。


技术参数

 

型号

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

FS70L4-TH

型号

FS70S

FS70-THS

FS70ZS

FS70Z-THS

FS70LS

FS70L-THS

FS70L4S

FS70L4-THS

聚焦调节

使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围








图像

正像








物镜筒镜

西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm








视场数

24mm








俯角

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

透过率

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目

镜/管径=

***/0%:

0%/***)

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目镜/管径=***/0%:0%/***)





防护滤光片

-

内置激光滤光片







管径镜头

1x

1x-2x放大

1x






适用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm






相机安装端口

C-mount (适用适配器B选件)

使用带TV接口的激光

C-mount开关

(带绿色滤光片转换开关)






照明系统(选件)

亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)

12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度








物镜

(用于观察)

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo








物镜(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV






载重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主机)

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

灯泡更换

标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)








用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)









注:镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。




Mitutoyo   FS70 Inspection Microscope


Microscope System


Mitutoyo FS70 Microscope System   (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002)

#56-003

Microscope Head (One Required)


Mitutoyo FS70 Microscope Head

#55-999

Microscope Stand (One Required)


Mitutoyo FS70 Microscope Stand

#56-000

Microscope Eyepieces in Pairs   (One Required)


10X WF Focusing Eyepieces, 24mm   Field Dia.

#56-001

15X WF Focusing Eyepieces, 16mm   Field Dia.

#56-310

20X WF Focusing Eyepieces, 12mm   Field Dia.

#56-004

Microscope Turret (One Required)


Manual 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-002

Motorized 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-313

Microscope Stage (Optional)


2" x 2" XY-Axes   Positioning Stage

#56-011

Accessories and Reticles   (Optional)


Fiber Optic Light Guide for   FS70, 72" Length

#56-008

Polarizer Set

#56-009

C-Mount Coupler (1X) for Video   Adaptation

#56-010

90° Crossline, Reticle

#56-005

Concentric Circles Reticle, 1.2   - 18mm Dia, 1.2mm Increments

#56-007

20mm Line/0.1mm Divisions,   Reticle

#56-183

5mm Line/0.05mm Divisions,   Reticle

#56-184

90°/60° Crossline, Reticle

#56-311


Stock   No.

Objective

WD (mm)

Resolving Power (μm)

10X Eyepiece #56-001

15X Eyepiece #56-310

20X Eyepiece #56-004




Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)





#58-235

M Plan Apo 1X

11

11

10-20X

24-12

15-30X

16-8

20-40X

12-6

#46-142

M Plan Apo 2X

34

5

20-40X

12-6

30-60X

8-4

40-80X

6-3

#46-143

M Plan Apo 5X

34

2

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#66-383

M Plan Apo 7.5X

35

1.3

75-150X

3.2-1.6

112.5-225X

2.13-1.07

150-300X

1.6-0.8

#46-144

M Plan Apo 10X

33.5

1

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#46-145

M Plan Apo 20X

20

0.7

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-146

M Plan Apo 50X

13

0.5

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-147

M Plan Apo 100X

6

0.4

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#46-398

M Plan Apo 20X SL

30.5

1

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-399

M Plan Apo 50X SL

20.5

0.7

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-401

M Plan Apo 100X SL

13

0.5

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#34-247

M Plan Apo 5X HR

25.5

1.3

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#58-236

M Plan Apo 10X HR

15

0.6

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#58-237

M Plan Apo 50X HR

5.2

0.3

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#58-238

M Plan Apo 100X HR

1.3

0.3

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06


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